▶▶装置機能
セル表面クリーニング、重量測定、寸法測定、外観検査、バーコードスキャン・選別、NG選別機能を集成した一体型装置。データをMESシステムにアップロード可能、全自動装置である。

▶▶仕様

▶▶技術特徴

        表面クリーニングはブラシを使用し電子表面に風を当てながら、粉塵を除去。

        吸引装置は二次汚染を防止できます。セルの計量。計量精度の影響を避けるため、振動を避ける可能の大理石フレーム設計を採用する。

        寸法測定はレーザ測定センサーを採用、寸法と平坦度を測定できま す。

        外観検査は2.5Dと3Dカメラを使用し、セルの外観を確認する。